Mga seramik na substrateay kasalukuyang ginagamit sa mga power electronic module, mga pakinabang: mataas na mekanikal na lakas, tibay at thermal conductivity
Ang silicon nitride ay may mas mataas na halaga na mas mataas kaysa sa aluminum nitride
substrate, at ang thermal conductivity ay higit sa 80 o higit pa. Pangunahing inilapat ang Silicon sa power electronic module, tulad ng IGBT modules, at car standard blocks, pati na rin sa military, aerospace modules.
Ang
ceramic substrateay pangunahing ginagamit para sa mataas na mekanikal na lakas at kayamutan. Sa kasalukuyan, dahil ang power module na ito ay masyadong malaki, ang kinakailangang kapal ng tanso ay medyo mataas (hindi bababa sa 500um o higit pa). Mula ngayon nagawa na namin, ang silicone nitride follow-up application ay nangangailangan na ang tansong kapal ay mababa din (ilang IGBT modules na nangangailangan ng mataas na kasalukuyang)